ເຄື່ອງເຄືອບດິນເຜົາບາງໆດ້ວຍເຄື່ອງເຄືອບດິນເຜົາ magnetron sputtering

ລາຍ​ລະ​ອຽດ​ສັ້ນ​:

ເຕັກນິກການ sputtering magnetron ສູນຍາກາດແມ່ນການນໍາໃຊ້ຂອງແມ່ຍິງ, ດ້ານ electrode bipolar ກັບສະຫນາມແມ່ເຫຼັກຂອງເອເລັກໂຕຣນິກໃນການ drift ດ້ານ cathode, ໂດຍກໍານົດພື້ນທີ່ເປົ້າຫມາຍໄຟຟ້າ perpendicular ກັບພາກສະຫນາມແມ່ເຫຼັກ, ເອເລັກໂຕຣນິກເພີ່ມຂຶ້ນເສັ້ນເລືອດຕັນໃນ, ເພີ່ມອັດຕາການ ionization. ຂອງອາຍແກັສ, ໃນຂະນະທີ່ອະນຸພາກພະລັງງານສູງອາຍແກັສແລະສູນເສຍພະລັງງານຫຼັງຈາກການປະທະກັນແລະອຸນຫະພູມ substrate ຕ່ໍາດັ່ງນັ້ນ, ການເຄືອບສໍາເລັດໃນອຸປະກອນການບໍ່ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມ.